制备硅树脂的单体是氯硅烷，通式为RxSiCl4-x，以及氯氢硅烷，如RSiHCl2、R2SiHCl、RSiH2C1等，R是单体中取代基，如甲基、苯基、乙烯基等，烷基 (芳基)氯硅烷经水解后，形成硅醇，硅醇可在碱或酸的催化下，进行阴离子或阳离子聚合而生成聚有机硅氧烷，以二官能的 (CH3)2SiCl2及三官能的CH3SiCl3共水解缩聚，可生成热固性的硅树脂。

Si代表硅原子，R/Si的比值决定了生成产物的性质，当R/Si>2，生成低分子量硅油，R/Si=2时，生成线型弹性体，R/Si<2时，生成硅树脂，因此，在制备具有特定性能的有机硅聚合物时，首先要注意正确选择R/Si值。